논문 상세
목록A novel method for simultaneous measurement of thickness, refractive index, bow, and warp of a large silicon wafer using a spectral-domain interferometer
작성자
관리자
조회수
26
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 물리 측정표준기술 고도화 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | A novel method for simultaneous measurement of thickness, refractive index, bow, and warp of a large silicon wafer using a spectral-domain interferometer | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111598908 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Jin, Jonghan;Jang, Yoon-Soo;Park, Jungjae;Bae, Jaeseok | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | METROLOGIA | 권(호) | 57 (6) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1088/1681-7575/aba16b | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문