논문 상세
목록Development of an Integrated Electrostatic Precipitator and Wet Scrubber System for Controlling No-x and Particulate Matter Emissions From a Semiconductor Manufacturing Process
작성자
관리자
조회수
25
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 미세먼지(PM2.5) 및 온실가스 대응 미래발전/동력시스템 초청정 기계기술 개발 | ||||
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| 논문명 | Development of an Integrated Electrostatic Precipitator and Wet Scrubber System for Controlling No-x and Particulate Matter Emissions From a Semiconductor Manufacturing Process | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111621631 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Han, Bangwoo;Kim, Sumin;Kim, Hak-Joon;Kim, Yong-Jin;Sung, Jin-Ho;Kim, San | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRY APPLICATIONS | 권(호) | 56 (6) | 시작페이지 | 7012 | ||
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| DOI | 10.1109/TIA.2020.3023670 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문