논문 상세
목록Buffered Oxide Etchant Post-Treatment of a Silicon Nanofilm for Low-Cost and Performance-Enhanced Chemical Sensors
작성자
관리자
조회수
22
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 나노기반 옴니텍스(Omni-TEX) 제조기술 개발 | ||||
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| 논문명 | Buffered Oxide Etchant Post-Treatment of a Silicon Nanofilm for Low-Cost and Performance-Enhanced Chemical Sensors | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111621593 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Park, Inkyu;Kim, Taehwan;Zhao, Zhi-Jun;Kim, Hyeonggyun;Gao, Min;Li, Panpan;Jeong, Jun-Ho;Cho, Incheol;Jin, Mingliang;Kang, Kyungnam | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | ACS Applied Materials & Interfaces | 권(호) | 12 (33) | 시작페이지 | 37128 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1021/acsami.0c08977 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문