논문 상세
목록Adaptive Scheduling of Cluster Tools With Wafer Delay Constraints and Process Time Variation
작성자
관리자
조회수
19
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 반도체 제조공정장비를 위한 개방형 스케쥴링 시스템 기술 개발 | ||||
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| 논문명 | Adaptive Scheduling of Cluster Tools With Wafer Delay Constraints and Process Time Variation | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111281266 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Lee, Tae-Eog;Lim, Yuchul;Yu, Tae-Sun | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | IEEE Transactions on Automation Science and Engineering | 권(호) | 17 (1) | 시작페이지 | 375 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1109/TASE.2019.2930046 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문