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Hybrid CO2 laser-polishing process for improving material removal of silicon carbide

작성자

관리자

조회수

19

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 자유형상 광부품 초정밀 가공공정 및 검사장비 개발
논문명 Hybrid CO2 laser-polishing process for improving material removal of silicon carbide
성과고유번호 JNL-2020-00111594946 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Kim, Mincheol;Kim, Geon-Hee;Kim, Dong-Hyeon;Lee, Hyun-Taek;Bang, Sangmin;Ahn, Sung-Hoon 소속기관명 한국기초과학지원연구원 기여율 33.33 %
공동저자
학술지
학술지명 INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY 권(호) 106 (7-8) 시작페이지 3139
DOI 10.1007/s00170-019-04846-0 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분