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Spherical Mirror and Surface Patterning on Silicon Carbide (SiC) by Material Removal Rate Enhancement Using CO2 Laser Assisted Polishing

작성자

관리자

조회수

15

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 자유형상 광부품 초정밀 가공공정 및 검사장비 개발
논문명 Spherical Mirror and Surface Patterning on Silicon Carbide (SiC) by Material Removal Rate Enhancement Using CO2 Laser Assisted Polishing
성과고유번호 JNL-2020-00111594945 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Ahn, Sung-Hoon;Kim, Geon-Hee;Abrego Serrano, Pablo Antonio;Kim, Dong-Hyeon;Kim, Dong-Ryul;Kim, Mincheol 소속기관명 한국기초과학지원연구원 기여율 33.33 %
공동저자
학술지
학술지명 International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 권(호) 21 (5) 시작페이지 775
DOI 10.1007/s12541-019-00304-9 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분