논문 상세
목록Flat cutoff probe for real-time electron density measurement in industrial plasma processing
작성자
관리자
조회수
22
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 국가측정표준 정책·협력연구 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Flat cutoff probe for real-time electron density measurement in industrial plasma processing | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111599086 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Yoon, M. Y.;Choi, D. H.;Yeom, H. J.;Kim, J. H.;Choi, E. S.;Seong, D. J.;Lee, Hyo-Chang;You, Shin Jae | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY | 권(호) | 29 (3) | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1088/1361-6595/ab62d9 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문