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목록Thermal Decomposition In Situ Monitoring System of the Gas Phase Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium (CpZr(NMe2)(3)) Based on FT-IR and QMS for Atomic Layer Deposition
작성자
관리자
조회수
20
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 국가측정표준 서비스 및 중소기업 지원 | ||||
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| 논문명 | Thermal Decomposition In Situ Monitoring System of the Gas Phase Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium (CpZr(NMe2)(3)) Based on FT-IR and QMS for Atomic Layer Deposition | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111599092 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | An, Jong-Ki;Kim, Hayeong;Kang, Goru;Choi, Eunmi;Yun, Ju-Young;Shim, Seob | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | Nanoscale Research Letters | 권(호) | 15 (1) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1186/s11671-020-03400-2 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 58분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문