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Development of Linear Astigmatism Free-Three Mirror System (LAF-TMS)

작성자

관리자

조회수

19

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 대면적 자유형상 및 나노미터급 미세표면 검사기 개발(5차/매칭)
논문명 Development of Linear Astigmatism Free-Three Mirror System (LAF-TMS)
성과고유번호 JNL-2020-00111604113 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Jeong, Byeongjoon;Lee, Hyoungkwon;Kim, Geon Hee;Kim, Dae Wook;Chang, Seunghyuk;Pak, Soojong;Hammar, Arvid;Lim, Jae Hyuk;Park, Woojin;Kim, Yunjong;Lee, Sunwoo;Kim, Sanghyuk;Ahn, Hojae 소속기관명 한국기초과학지원연구원 기여율 25.0 %
공동저자
학술지
학술지명 PUBLICATIONS OF THE ASTRONOMICAL SOCIETY OF THE PACIFIC 권(호) 132 (1010) 시작페이지
DOI 10.1088/1538-3873/ab7547 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분