논문 상세
목록Traceable thickness measurement of ultra-thin HfO2 films by medium-energy ion scattering spectroscopy
작성자
관리자
조회수
21
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | ICT 핵심소재 성분분석 최상위 기술개발 | ||||
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| 논문명 | Traceable thickness measurement of ultra-thin HfO2 films by medium-energy ion scattering spectroscopy | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111424198 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Park, Kyungsu;Kim, Kyung Joong;Kwon, Ji-Hwan;Min, Won Ja;Ruh, Hyun;Kim, Tae Gun | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | METROLOGIA | 권(호) | 57 (2) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1088/1681-7575/ab57f0 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문