논문 상세
목록Effect of an Alkoxyliertes Beta Naphthol on Cu Electrodeposition for Application to Low-Resistivity Cu Interconnects
작성자
관리자
조회수
14
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 전자현미경 및 분광분석 그룹 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Effect of an Alkoxyliertes Beta Naphthol on Cu Electrodeposition for Application to Low-Resistivity Cu Interconnects | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111604025 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Suh, Hoyoung;Lee, Ji-Hyun;Heo, Mina;Hong, Kimin;Kim, Jin-Gyu | 소속기관명 | 한국기초과학지원연구원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | BULLETIN OF THE KOREAN CHEMICAL SOCIETY | 권(호) | 41 (5) | 시작페이지 | 530 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1002/bkcs.12003 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문