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Optimized annealing conditions to enhance stability of polarization in sputtered HfZrOx layers for non-volatile memory applications

작성자

관리자

조회수

23

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 ICT 창의기술 개발
논문명 Optimized annealing conditions to enhance stability of polarization in sputtered HfZrOx layers for non-volatile memory applications
성과고유번호 JNL-2020-00111612625 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Kim, Yeriaron;Yoon, Sung-Min;Im, Jong-Pil;Kim, Jeong Hun;Im, Solyee;Lee, Yeseul;Moon, Seung Eon;Woo, Jiyong;Yang, Sang Mo;Suh, Dongwoo 소속기관명 한국전자통신연구원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 CURRENT APPLIED PHYSICS 권(호) 20 (12) 시작페이지 1441
DOI 10.1016/j.cap.2020.09.013 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분