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Development of a calibration system for wafer-type temperature sensor

작성자

관리자

조회수

18

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 첨단측정장비 핵심기술 개발
논문명 Development of a calibration system for wafer-type temperature sensor
성과고유번호 JNL-2020-00111599084 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Mun, Jihun;Shin, Jae-Soo;Kim, Jongho;Kang, Sang-Woo 소속기관명 한국표준과학연구원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 AIP Advances 권(호) 10 (11) 시작페이지
DOI 10.1063/6.0000536 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분