논문 상세
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작성자
관리자
조회수
17
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 첨단측정장비 핵심기술 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Global model for pulsed inductively coupled plasma sources: Effect of edge-to-center density ratio and electron heating | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111599169 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Lee, Hyo-Chang;Yu, Dong-Hun;Im, Yeon Ho;Kwon, Hyoungcheol;Kwon, Deuk-Chul | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | PHYSICS OF PLASMAS | 권(호) | 27 (7) | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1063/5.0006505 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 25분 | ||||
논문 원문