논문 상세
목록Design and Analysis of a Flexure-Based Parallel XY Stage Driven by Differential Piezo Forces
작성자
관리자
조회수
37
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 수차보정 투과전자현미경 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Design and Analysis of a Flexure-Based Parallel XY Stage Driven by Differential Piezo Forces | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111604155 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Lee, JaeJong;Kwon, Soongeun;Kim, GeeHong;Lee, Sang-Chul;Choi, Kee-Bong;Lim, Hyungjun | 소속기관명 | 한국기초과학지원연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | International Journal of Precision Engineering and Manufacturing | 권(호) | 21 (8) | 시작페이지 | 1547 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1007/s12541-020-00358-0 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 26분 | ||||
논문 원문