논문 상세
목록Tunable Dielectric and Thermal Properties of Oxide Dielectrics via Substrate Biasing in Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
작성자
관리자
조회수
44
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 첨단소재 측정플랫폼 기반 구축 | ||||
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| 논문명 | Tunable Dielectric and Thermal Properties of Oxide Dielectrics via Substrate Biasing in Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111598981 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kwon, Heungdong;Goodson, Kenneth E.;Lee, Byung Chul;Kim, Hyo Jin K.;Lim, Jongwoo;Park, Woosung;Sim, Uk;Asheghi, Mehdi;Kim, Brian S. Y.;Lee, Joohyun;Prinz, Fritz B.;Kim, Yoonjin;Han, Hyun Soo | 소속기관명 | 한국표준과학연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | ACS Applied Materials & Interfaces | 권(호) | 12 (40) | 시작페이지 | 44912 | ||
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| DOI | 10.1021/acsami.0c11086 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 03시 59분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 26분 | ||||
논문 원문