R&D 정보

논문 상세

목록

Vibration Control of Scanning Electron Microscopes with Experimental Approaches for Performance Enhancement

작성자

관리자

조회수

38

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 인공지능 기반 기계시스템 예측진단 및 사고대응 기술개발
논문명 Vibration Control of Scanning Electron Microscopes with Experimental Approaches for Performance Enhancement
성과고유번호 JNL-2020-00111621666 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Oh, Ki-Yong;Kim, Yong-Ju;Shin, Yun-Ho;Moon, Seok-Jun 소속기관명 한국기계연구원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 SENSORS 권(호) 20 (8) 시작페이지
DOI 10.3390/s20082277 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 00분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 26분