논문 상세
목록A Study on the Influence of the Cross-Sectional Shape of the Metal-Inserted Retainer Ring and the Pressure Distribution from the Multi-Zone Carrier Head to Increase the Wafer Yield
작성자
관리자
조회수
42
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 상하지 운동기능 복원을 위한 인간증진의료 기술개발 | ||||
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| 논문명 | A Study on the Influence of the Cross-Sectional Shape of the Metal-Inserted Retainer Ring and the Pressure Distribution from the Multi-Zone Carrier Head to Increase the Wafer Yield | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111621695 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Han, Je-Heon;Park, Joon-Yeon;Kim, Changwon | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 기여율 | 33.33 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | Applied Sciences-Basel | 권(호) | 10 (23) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.3390/app10238362 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 00분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 26분 | ||||
논문 원문