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Evolution of crystallographic structure and ferroelectricity of Hf0.5Zr0.5O2 films with different deposition rate

작성자

관리자

조회수

43

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 미래전자통신 인재양성사업단
논문명 Evolution of crystallographic structure and ferroelectricity of Hf0.5Zr0.5O2 films with different deposition rate
성과고유번호 JNL-2020-00111675465 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 An, Minho;Kim, Taeho;Jeon, Sanghun 소속기관명 한국과학기술원 기여율 0.0 %
공동저자
학술지
학술지명 AIP Advances 권(호) 10 (1) 시작페이지
DOI 10.1063/1.5121454 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 00분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 26분