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Computational Characterization of Microwave Planar Cutoff Probes for Non-Invasive Electron Density Measurement in Low-Temperature Plasma: Ring- and Bar-Type Cutoff Probes

작성자

관리자

조회수

41

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 광 및 반도체 소재 부품 혁신 인재 양성 사업단
논문명 Computational Characterization of Microwave Planar Cutoff Probes for Non-Invasive Electron Density Measurement in Low-Temperature Plasma: Ring- and Bar-Type Cutoff Probes
성과고유번호 JNL-2020-00111652488 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Kim, Jung-Hyung;Lee, Young Seok;You, Shin Jae;Kim, Si Jun;Lee, Jang Jae;Lee, Hyo Chang;Yeom, Hee Jung 소속기관명 충남대학교 기여율 0.0 %
공동저자
학술지
학술지명 Applied Sciences-Basel 권(호) 10 (20) 시작페이지
DOI 10.3390/app10207066 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 01분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 26분