논문 상세
목록Effect of the Bilayer Period of Atomic Layer Deposition on the Growth Behavior and Electrical Properties of the Amorphous In-Zn-O Film
작성자
관리자
조회수
42
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 3D 나노기반 하이브리드 구조체 제작 플랫폼 및 나노IVD 시스템 통합 기술 개발 | ||||
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| 논문명 | Effect of the Bilayer Period of Atomic Layer Deposition on the Growth Behavior and Electrical Properties of the Amorphous In-Zn-O Film | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111487896 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kang, Yun-Ho;Lee, Hyerin;Kim, Min-Sik;Lee, Sangbong;Kim, Hyun-Mi;Kim, Minsu;Yoon, Tae-Sik;Kim, Ki-Bum;Cho, Yeong-Ho | 소속기관명 | 한국기계연구원 | 기여율 | 33.33 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | ACS Applied Materials & Interfaces | 권(호) | 12 (35) | 시작페이지 | 39372 | ||
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| DOI | 10.1021/acsami.0c07540 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 01분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 27분 | ||||
논문 원문