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Influence of hydrogen and oxygen on the structure and properties of sputtered magnesium zirconium oxynitride thin films

작성자

관리자

조회수

47

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 질화물 기반 박막 태양전지 제조를 위한 원천기술개발
논문명 Influence of hydrogen and oxygen on the structure and properties of sputtered magnesium zirconium oxynitride thin films
성과고유번호 JNL-2020-00111458492 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Kim, Jekyung;Kim, Daehan;Park, Bo-In;Khan, Imran S.;Perkins, John;Zakutayev, Andriy;Talley, Kevin R.;Bauers, Sage R.;Shin, Byungha 소속기관명 한국과학기술원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 Journal of Materials Chemistry A 권(호) 8 (18) 시작페이지 9364
DOI 10.1039/d0ta00654h ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 02분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 27분