논문 상세
목록Reactive ion etching of an ovonic threshold switch (OTS) material using hydrogen-based plasmas for non-volatile phase change memories
작성자
관리자
조회수
38
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 5nm 이하급 수직 트랜지스터 구조를 위한 저손상의 원자층 식각 공정 및 응용기술 개발 | ||||
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| 논문명 | Reactive ion etching of an ovonic threshold switch (OTS) material using hydrogen-based plasmas for non-volatile phase change memories | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111699402 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kwon, Oik;Jang, Yun Jong;Park, Jin Woo;Gill, You Jung;Choi, Hyejin;Kim, Ye Eun;Kim, Ju Eun;Kim, Doo San;Yeom, Geun Young | 소속기관명 | 대전대학교산학협력단 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | RSC Advances | 권(호) | 10 (59) | 시작페이지 | 36141 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1039/d0ra05321j | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 03분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 28분 | ||||
논문 원문