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Silicon wafer crack detection using nonlinear ultrasonic modulation induced by high repetition rate pulse laser

작성자

관리자

조회수

36

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 초고속 펨토초 레이저를 이용한 집적회로 패키징 비파괴검사 기법
논문명 Silicon wafer crack detection using nonlinear ultrasonic modulation induced by high repetition rate pulse laser
성과고유번호 JNL-2020-00111579110 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Liu, Peipei;Kim, Byunggi;Jang, Jinho;Kim, Seung-Woo;Sohn, Hoon 소속기관명 한국과학기술원 기여율 33.33 %
공동저자
학술지
학술지명 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING 권(호) 129 시작페이지
DOI 10.1016/j.optlaseng.2020.106074 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 04분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 29분