R&D 정보

논문 상세

목록

Experimental optimization of post metal annealing on fully depleted-silicon on insulator tunneling field effect transistor

작성자

관리자

조회수

36

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 웨이퍼레벨 배선 패키징 플랫폼 개발
논문명 Experimental optimization of post metal annealing on fully depleted-silicon on insulator tunneling field effect transistor
성과고유번호 JNL-2020-00111469338 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Eadi, Sunil Babu;Yang, Ji-Woon;Choi, Hyun-Woong;Song, Hyeong-Sub;Song, Hyun-Dong;Lee, Jae Woo;Shin, Hyun-Jin;Lee, Hi-Deok 소속기관명 나노종합기술원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 권(호) 59 시작페이지
DOI 10.35848/1347-4065/ab8e1c ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 05분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 30분