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Buffered Oxide Etchant Post-Treatment of a Silicon Nanofilm for Low-Cost and Performance-Enhanced Chemical Sensors

작성자

관리자

조회수

29

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 HNS 탐지센서 및 무인이동체 기반 모니터링 기술 개발
논문명 Buffered Oxide Etchant Post-Treatment of a Silicon Nanofilm for Low-Cost and Performance-Enhanced Chemical Sensors
성과고유번호 JNL-2020-00111619438 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Park, Inkyu;Kim, Taehwan;Zhao, Zhi-Jun;Kim, Hyeonggyun;Gao, Min;Li, Panpan;Jeong, Jun-Ho;Cho, Incheol;Jin, Mingliang;Kang, Kyungnam 소속기관명 한국과학기술원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 ACS Applied Materials & Interfaces 권(호) 12 (33) 시작페이지 37128
DOI 10.1021/acsami.0c08977 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 05분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 30분