논문 상세
목록Effects of Thickness and Crystallographic Orientation on Tensile Properties of Thinned Silicon Wafers
작성자
관리자
조회수
32
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 웨어러블 플랫폼소재 기술센터 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Effects of Thickness and Crystallographic Orientation on Tensile Properties of Thinned Silicon Wafers | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111471838 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kim, Taek-Soo;Kim, Young Suk;Lee, Sangmin;Kim, Jae-Han;Ohba, Takayuki | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology | 권(호) | 10 (2) | 시작페이지 | 296 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1109/TCPMT.2019.2931640 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 05분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 30분 | ||||
논문 원문