논문 상세
목록Simultaneous etching of underlying metal oxide and sulfide thin films during Cu2S atomic layer deposition
작성자
관리자
조회수
41
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | IoT 디바이스용 화학소재 기술 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Simultaneous etching of underlying metal oxide and sulfide thin films during Cu2S atomic layer deposition | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2020-00111597360 | 성과발생연도 | 2020 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Park, Bo Keun;Agbenyeke, Raphael Edem;Han, Jeong Hwan;Kim, Chang Gyoun;Lee, Young Kuk;Han, Seong Ho;Chung, Taek-Mo | 소속기관명 | 한국화학연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | APPLIED SURFACE SCIENCE | 권(호) | 524 | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1016/j.apsusc.2020.146452 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 06분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 30분 | ||||
논문 원문