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Monolithic 3D Integration of InGaAs Photodetectors on Si MOSFETs Using Sequential Fabrication Process

작성자

관리자

조회수

41

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 공정고도화 지원
논문명 Monolithic 3D Integration of InGaAs Photodetectors on Si MOSFETs Using Sequential Fabrication Process
성과고유번호 JNL-2020-00111713849 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Kim, Hyung-Jun;Kim, Sang-Hyeon;Lim, Donghwan;Choi, Chang Hwan;Lee, Subin;Kim, Seong Kwang;Geum, Dae-Myeong 소속기관명 나노종합기술원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS 권(호) 41 (3) 시작페이지 433
DOI 10.1109/LED.2020.2966986 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 06분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 31분