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Development of a wide-width raster scanning optical system for high-resolution ultraviolet laser direct micro-patterning

작성자

관리자

조회수

41

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 유도방출응용 광중합 억제현상 기반 3차원 극미소 구조체 직접가공기술개발
논문명 Development of a wide-width raster scanning optical system for high-resolution ultraviolet laser direct micro-patterning
성과고유번호 JNL-2020-00111576884 성과발생연도 2020 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Choi, Hyun;Lim, Geon;Park, JongBok;Lee, Dong-Kil;Kim, Wan-Chin;Park, No-Cheol 소속기관명 한밭대학교 기여율 100.0 %
공동저자
학술지
학술지명 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING 권(호) 134 시작페이지
DOI 10.1016/j.optlaseng.2020.106179 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 07분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 31분