논문 상세
목록Measurement uncertainty evaluation procedures and applications for various types of multichannel rotating-element spectroscopic ellipsometers
작성자
관리자
조회수
31
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | (1세부) 반도체·디스플레이 공정용 박막두께 상용표준물질 개발 및 보급 | ||||
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| 논문명 | Measurement uncertainty evaluation procedures and applications for various types of multichannel rotating-element spectroscopic ellipsometers | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112142788 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Cho, Yong Jai | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | OPTICS EXPRESS | 권(호) | 29 (24) | 시작페이지 | 39428 | ||
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| DOI | 10.1364/OE.443311 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 07분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 31분 | ||||
논문 원문