논문 상세
목록Synthesis of Lithography Test Patterns Using Machine Learning Model
작성자
관리자
조회수
38
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 머신러닝을 이용한 반도체 리소그래피 해상도향상기술에 관한 연구 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Synthesis of Lithography Test Patterns Using Machine Learning Model | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112131691 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kareem, Pervaiz | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING | 권(호) | 34 (1) | 시작페이지 | 49 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1109/TSM.2021.3052302 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 07분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 31분 | ||||
논문 원문