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A Novel Combinatorial Approach to the Ferroelectric Properties in HfxZr1-xO2 Deposited by Atomic Layer Deposition

작성자

관리자

조회수

40

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 전기 다이폴 스위칭이 가능한 소재, 3단자 소자 및 아키텍처 연구
논문명 A Novel Combinatorial Approach to the Ferroelectric Properties in HfxZr1-xO2 Deposited by Atomic Layer Deposition
성과고유번호 JNL-2021-00112024579 성과발생연도 2021 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Jung, Yong Chan 소속기관명 한국과학기술원 기여율 25.0 %
공동저자
학술지
학술지명 PHYSICA STATUS SOLIDI-RAPID RESEARCH LETTERS 권(호) 15 (5) 시작페이지
DOI 10.1002/pssr.202100053 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 11분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 34분