논문 상세
목록Precise measurement of the thickness of silicon wafers by double-sided interferometer and bilateral comparison
작성자
관리자
조회수
34
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 물리 측정표준기술 고도화 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Precise measurement of the thickness of silicon wafers by double-sided interferometer and bilateral comparison | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112136378 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Hirai, Akiko | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | METROLOGIA | 권(호) | 58 (5) | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1088/1681-7575/ac1e36 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 11분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 34분 | ||||
논문 원문