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Group IV Transition Metal (M = Zr, Hf) Precursors for High-kappa Metal Oxide Thin Films

작성자

관리자

조회수

34

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 IoT 디바이스용 화학소재 기술
논문명 Group IV Transition Metal (M = Zr, Hf) Precursors for High-kappa Metal Oxide Thin Films
성과고유번호 JNL-2021-00111967870 성과발생연도 2021 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Lee, Ga Yeon 소속기관명 한국화학연구원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 INORGANIC CHEMISTRY 권(호) 60 (23) 시작페이지 17722
DOI 10.1021/acs.inorgchem.1c02339 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 11분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 34분