논문 상세
목록Environmental reliability and moisture barrier properties of silicon nitride and silicon oxide films using roll-to-roll plasma enhanced chemical vapor deposition
작성자
관리자
조회수
32
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 공공인프라 기반 산업지원 플랫폼 기술 | ||||
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| 논문명 | Environmental reliability and moisture barrier properties of silicon nitride and silicon oxide films using roll-to-roll plasma enhanced chemical vapor deposition | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00111967949 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Lee, Won Jae | 소속기관명 | 한국화학연구원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | THIN SOLID FILMS | 권(호) | 720 (0) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1016/j.tsf.2021.138524 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 12분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분 | ||||
논문 원문