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Development of ultrasensitive indium oxide layer with high response to NO2 gas in indium gallium zinc oxide stack structure using atomic layer deposition

작성자

관리자

조회수

23

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 반도체 신소자를 위한 집적/검증 플랫폼 기술 개발
논문명 Development of ultrasensitive indium oxide layer with high response to NO2 gas in indium gallium zinc oxide stack structure using atomic layer deposition
성과고유번호 JNL-2021-00112016177 성과발생연도 2021 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Eadi, S. B. 소속기관명 충남대학 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 MATERIALS LETTERS 권(호) 297 (0) 시작페이지
DOI 10.1016/j.matlet.2021.129943 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 12분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분