논문 상세
목록Effect of the surface contamination layer on the thickness measurement of ultra-thin HfO2 films
작성자
관리자
조회수
22
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 첨단측정장비 핵심기술 개발 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Effect of the surface contamination layer on the thickness measurement of ultra-thin HfO2 films | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112136519 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kim, Tae Gun | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 기여율 | 50.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | APPLIED SURFACE SCIENCE | 권(호) | 545 (0) | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1016/j.apsusc.2021.148982 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 13분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 35분 | ||||
논문 원문