논문 상세
목록Utilizing mechanical adhesion force as a high contact force in a MEMS relay
작성자
관리자
조회수
39
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 초저전력 나노 열 구동 기반 차세대 배선 소자와 이를 응용한 3차원 반도체 시스템 아키텍처 개발 | ||||
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| 논문명 | Utilizing mechanical adhesion force as a high contact force in a MEMS relay | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00111995959 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kim, Su-Bon | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL | 권(호) | 331 (0) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1016/j.sna.2021.112894 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 14분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 36분 | ||||
논문 원문