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Structural and gas barrier properties of hydrogenated silicon nitride thin films prepared by roll-to-roll microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition

작성자

관리자

조회수

42

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 공공인프라 기반 산업지원 플랫폼 기술
논문명 Structural and gas barrier properties of hydrogenated silicon nitride thin films prepared by roll-to-roll microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition
성과고유번호 JNL-2021-00111967961 성과발생연도 2021 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Cho, Seong-Keun 소속기관명 한국화학연구원 기여율 100.0 %
공동저자
학술지
학술지명 VACUUM 권(호) 188 (0) 시작페이지
DOI 10.1016/j.vacuum.2021.110167 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 14분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 37분