논문 상세
목록Thermal conductivity of plasma-enhanced atomic layer deposited hafnium zirconium oxide dielectric thin films
작성자
관리자
조회수
31
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 신개념 ballistic-polaritonic 열전달 모드를 이용한 초고발열 반도체 소자단위 열관리 기술 연구 | ||||
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| 논문명 | Thermal conductivity of plasma-enhanced atomic layer deposited hafnium zirconium oxide dielectric thin films | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00111919080 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kim, Jihyun | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 33.33 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY | 권(호) | 41 (6) | 시작페이지 | 3397 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1016/j.jeurceramsoc.2020.12.053 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 15분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 37분 | ||||
논문 원문