논문 상세
목록Noninvasive method to measure the electron temperature in radio frequency capacitively coupled plasmas
작성자
관리자
조회수
39
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 오염입자 및 고에너지 플라즈마 내구성 평가 표준화 기술 개발 | ||||
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| 논문명 | Noninvasive method to measure the electron temperature in radio frequency capacitively coupled plasmas | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112002998 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Lee, Hyo-Chang | 소속기관명 | (재)한국표준과학연구원 | 기여율 | 25.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | APPLIED PHYSICS LETTERS | 권(호) | 118 (20) | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1063/5.0049186 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 18분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 39분 | ||||
논문 원문