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Glass Substrate Dust Removal Using 233 fs Laser-Generated Shockwave

작성자

관리자

조회수

47

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 핵심 기계·설비 스마트 설계 플랫폼 기술 개발(BIG)
논문명 Glass Substrate Dust Removal Using 233 fs Laser-Generated Shockwave
성과고유번호 JNL-2021-00111987788 성과발생연도 2021 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Kim, Myeongjun 소속기관명 한국기계연구원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 MICROMACHINES 권(호) 12 (11) 시작페이지
DOI 10.3390/mi12111382 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 19분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 40분