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New Volatile Tantalum Imido Precursors with Carboxamide Ligands

작성자

관리자

조회수

39

등록일

2024-07-23

논문 상세정보
과제 태양전지 광흡수층용 금속 질화물 박막을 위한 금속 전구체 및 화학기상증착 박막공정 개발
논문명 New Volatile Tantalum Imido Precursors with Carboxamide Ligands
성과고유번호 JNL-2021-00111990769 성과발생연도 2021 국내외구분
학술지구분 학술지유형 SCIE
논문초록
주저자 Hwang, Jeong Min 소속기관명 한국화학연구원 기여율 50.0 %
공동저자
학술지
학술지명 ACS OMEGA 권(호) 6 (38) 시작페이지 24795
DOI 10.1021/acsomega.1c03659 ISSN ISBN
최초등록 관리자, 2024-07-23 PM 04시 21분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 41분