논문 상세
목록Formation, evolution, and prevention of thermally induced defects on germanium and silicon upon high-temperature vacuum annealing
작성자
관리자
조회수
37
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 레이저 가열 어닐링 기반 순물질 및 화합물 반도체 국소 공동 자가 조립 기술 개발 및 응용 | ||||
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| 논문명 | Formation, evolution, and prevention of thermally induced defects on germanium and silicon upon high-temperature vacuum annealing | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112034079 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kim, Taeyeong | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 70.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 권(호) | 39 (6) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1116/6.0001308 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 22분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 41분 | ||||
논문 원문