논문 상세
목록A negative tone lift-off method for small metal holes using PMMA/SiO2 double layer
작성자
관리자
조회수
31
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 광 및 반도체 소재 부품 혁신 인재 양성 사업단 | ||||
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| 논문명 | A negative tone lift-off method for small metal holes using PMMA/SiO2 double layer | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112193397 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Baek, J. S. | 소속기관명 | 충남대학 | 기여율 | 100.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | BULLETIN OF MATERIALS SCIENCE | 권(호) | 44 (4) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.1007/s12034-021-02568-2 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 23분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분 | ||||
논문 원문