논문 상세
목록Mechanical Abrasion by Bi-layered Pad Micro-Asperity in Chemical Mechanical Polishing
작성자
관리자
조회수
35
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 가치창출 선도 KAIST 기계 교육연구단 | ||||
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| 논문명 | Mechanical Abrasion by Bi-layered Pad Micro-Asperity in Chemical Mechanical Polishing | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112188054 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Ryu, Hyun Jun | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 0.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY | 권(호) | 70 (1) | 시작페이지 | 273 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1016/j.cirp.2021.04.012 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 24분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 43분 | ||||
논문 원문