논문 상세
목록Optical Proximity Correction Using Bidirectional Recurrent Neural Network With Attention Mechanism
작성자
관리자
조회수
22
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 산업·사회 혁신을 위한 초연결지능 교육연구단 | ||||
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| 논문명 | Optical Proximity Correction Using Bidirectional Recurrent Neural Network With Attention Mechanism | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112186809 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kwon, Yonghwi | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 0.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING | 권(호) | 34 (2) | 시작페이지 | 168 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1109/TSM.2021.3072668 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 25분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 43분 | ||||
논문 원문