논문 상세
목록Effect of Hydrogen on Hafnium Zirconium Oxide Fabricated by Atomic Layer Deposition Using H2O2 Oxidant
작성자
관리자
조회수
22
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | K-Materials 글로벌 혁신 교육연구단 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 논문명 | Effect of Hydrogen on Hafnium Zirconium Oxide Fabricated by Atomic Layer Deposition Using H2O2 Oxidant | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112190765 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Kim, Hyoungkyu | 소속기관명 | 한국과학기술원 | 기여율 | 0.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | PHYSICA STATUS SOLIDI-RAPID RESEARCH LETTERS | 권(호) | 15 (5) | 시작페이지 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DOI | 10.1002/pssr.202100020 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 25분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분 | ||||
논문 원문