논문 상세
목록Characterization of SiO2 Etching Profiles in Pulse-Modulated Capacitively Coupled Plasmas
작성자
관리자
조회수
25
등록일
2024-07-23
논문 상세정보
| 과제 | 광 및 반도체 소재 부품 혁신 인재 양성 사업단 | ||||
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| 논문명 | Characterization of SiO2 Etching Profiles in Pulse-Modulated Capacitively Coupled Plasmas | ||||
| 성과고유번호 | JNL-2021-00112193401 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | |
| 학술지구분 | 학술지유형 | SCIE | |||
| 논문초록 | |||||
| 주저자 | Cho, Chulhee | 소속기관명 | 충남대학 | 기여율 | 0.0 % |
| 공동저자 | |||||
학술지
| 학술지명 | MATERIALS | 권(호) | 14 (17) | 시작페이지 | |||
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| DOI | 10.3390/ma14175036 | ISSN | ISBN | ||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-07-23 PM 04시 25분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분 | ||||
논문 원문